Модернизация транзисторного преобразователя частоты ПЕТРА для эпитаксиальной установки | ПЕТРА

Оборудование "ПЕТРА" для технологий:

Новости

Модернизация транзисторного преобразователя частоты ПЕТРА для эпитаксиальной установки

15 марта 2018 Модернизация транзисторного преобразователя частоты ПЕТРА для эпитаксиальной установки

Произведена модернизация транзисторного преобразователя частоты ПЕТРА-0132 поставленного в 2013г. для эпитаксиальной установки «Эпиквар».
 
Напомним, что эпитаксия – это технология применяемая при производстве полупроводников.
 
Всего на предприятие заказчика было поставлено два преобразователя ПЕТРА-0132 в комплекте с теплообменными станциями (см. новость от 11.03.2013г.). Один из двух ПЧ ПЕТРА-0132 находился на складе с момента поставки. Перед запуском второй установки было принято решение провести модернизацию преобразователя с учётом улучшений достигнутых на март 2018г.
 
В первую очередь улучшения коснулись конструкции и элементной базы инвертора. Произведена замена блока датчиков и системы контроля температуры.
 
В эпитаксиальных установках «Эпиквар» нагрев пирамиды производится внешним полем индуктора. В связи с этим электрический КПД нагрева не высок. Кроме того, велики потери тепла с поверхности пирамиды на излучение. Поэтому тепловой КПД сильно зависит от качества отражающего покрытия, которое наносится на кварцевый корпус («колпак») реактора. Покрытие в процессе эксплуатации изнашивается. В связи с этим очень важно иметь запас мощности для компенсации изменяющихся тепловых потерь.
 
Проведённая модернизация обеспечила установку «Эпиквар» необходимым запасом мощности.
 
 

 
Другие новости:

Все новости

Меню