Заводские испытания эпитаксиальных установок с индукционным нагревом | ПЕТРА

Оборудование "ПЕТРА" для технологий:

Новости

Заводские испытания эпитаксиальных установок с индукционным нагревом

11 апреля 2019 Заводские испытания эпитаксиальных установок с индукционным нагревом

Успешно завершились испытания на территории завода-изготовителя эпитаксиальных установок Эпиквар ТМ-121П и Арсил-2. Эпитаксиальные установки применяются в производстве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов. Индукционная установка обеспечивает нагрев до 1300С графитового реактора, в котором обрабатываются заготовки подложек.
 
Для питания индуктора установки Арсил-2 применяется транзисторный преобразователь частоты ПЕТРА-0133 мощностью 60 кВт со встроенной теплообменной станцией. Мощность преобразователя питающего индуктор установки Эпиквар ТМ-121П — 160 кВт.
 
По завершении испытаний комплексы отгружены конечному заказчику.
 
 

 
Другие новости:

Все новости

Меню