На заводе-изготовителе прошли испытания малогабаритной установки для газофазного выращивания эпитаксиальных слоёв ЭПИСЭНД ТВИКС. Питание индуктора напряжением средней частоты 22,0 кГц производится от транзисторного преобразователя частоты ПЕТРА-0133 мощностью 63 кВт.
Установка ЭПИСЭНД ТВИКС по сравнению с ЭПИСЭНД ТМ рассчитана на увеличенную производительность. Для этого используется графитовый подложкодержатель бОльшей длины. Равномерный нагрев по всей длине подложкодержателя обеспечивается индуктором, который выполнен намоткой «в три ручья».
Транзисторный преобразователь частоты оснащён встроенной теплообменной станцией. Батарея компенсирующих конденсаторов смонтирована непосредственно на выводах индуктора.
Пульт управления техпроцессом связан с транзисторным преобразователем частоты дискретными сигналами и по шине стандарта RS-485.
По завершении заводских испытаний установка отгружена покупателю.
© НКВП «Петра» 2003-2025