Успешно завершились испытания на территории завода-изготовителя эпитаксиальных установок Эпиквар ТМ-121П и Арсил-2. Эпитаксиальные установки применяются в производстве подложек при изготовлении полупроводниковых приборов. Индукционная установка обеспечивает нагрев до 1300С графитового реактора, в котором обрабатываются заготовки подложек.
Для питания индуктора установки Арсил-2 применяется транзисторный преобразователь частоты ПЕТРА-0133 мощностью 60 кВт со встроенной теплообменной станцией. Мощность преобразователя питающего индуктор установки Эпиквар ТМ-121П – 160 кВт.
По завершении испытаний комплексы отгружены конечному заказчику.
© НКВП «Петра» 2003-2024
